离子注入的具体原理是将所注入的气体离子化成为带正电荷的离子束。
对离子束用磁场进行筛选后,得到所需要的注入离子,再加速撞击到注入表面,达到注入离子的目的。
在这过程中,需要控制好真空度,一般需要超高真空。
另外,需要控制好加速能量和注入角度,以控制注入的深浅程度。
一、离子注入法参杂:
1.优点:各向异性,投射深度与剂量可精确控制;
2.缺点:表面损伤,需要退火与再扩散。
二、扩散法参杂:
1.优点:比较容易获得高浓度与深结深;表面损伤较小。
2.缺点:各向同性,扩散高温时间长,造成侧向扩散,同时高温时间长对于各步掺杂的相互影响较难控制。
离子泵是多亚基的载体蛋白,在运输的过程中很多需要与被转运分子结合,且运输过程中需要atp提供能量,属于主动运输。
离子通道则不同,在运输过程中,由特定条件如离子浓度,压力,电信号等,激活通道后,通道打开,离子通过,在离子通过过程中通道不与离子结合属于被动运输。