热缺陷是由于晶体中的原子的热运动而造成的缺陷。

从几何图形上看是一种点缺陷。

热缺陷的数量与温度有关，温度愈高，造成缺陷的机会愈多。

晶体中热缺陷有两种形态，一种是肖脱基缺陷，另一种是弗仑克尔缺陷。

肖脱基缺陷是由于热运动，晶体中阳离子及阴离子脱离平衡位置，跑到晶体表面或晶界位置上，构成一层新的界面，而产生阳离子空位及阴离子空位，不过，这些阳离子空位与阴离子空位是符合晶体化学计量比的。

肖脱基缺陷实际产生过程是：由于靠近表面层的离子热运动到新的晶面后产生空位，然后，内部邻近的离子再进入这个空位，这样逐步进行而造成缺陷。

弗仑克尔缺陷形成过程为：一种离子脱离平衡位置挤入晶体的间隙位置中去，形成所谓间隙离子，而原来位置形成了阳离子或阴离子空位。

这种缺陷的特点是间隙离子和空位是成对出现的。

弗仑克尔缺陷除与温度有关外，与晶体本身结构也有很大关系，若晶体中间隙位置较大，则易形成弗仑克尔缺陷。