一般半小时即达到灭菌浓度，关闭机器，再等半个小时待臭氧还原，工作人员方可入内；使用臭氧消毒、灭菌，室内不要太干燥，可喷洒少量清水提高湿度。

臭氧可制备臭氧水，用于物品表面、器皿、工具、地面及墙壁消毒